Comprehensive Kubo-Greenwood modelling of FDSOI MOS devices down to deep cryogenic temperatures

F. Serra Di Santa Maria (1) , L. Contamin (2) , M. Cassé (2) , C. Theodorou (1) , Francis Balestra (1) , G. Ghibaudo (1)

1 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

F. Serra Di Santa Maria, L. Contamin, M. Cassé, C. Theodorou, Francis Balestra, et al.. Comprehensive Kubo-Greenwood modelling of FDSOI MOS devices down to deep cryogenic temperatures. 2021 Joint International EUROSOI Workshop and International Conference on Ultimate Integration on Silicon (EuroSOI-ULIS), Sep 2021, Caen, France. ⟨10.1109/EuroSOI-ULIS53016.2021.9560694⟩. ⟨hal-03852877⟩