3D kinetic Monte-Carlo simulations of diamond growth on (1 0 0) surfaces

Audrey Valentin (1) , Ovidiu Brinza (1) , Samir Farhat (1) , Jocelyn Achard (2) , Fabien Bénédic (3)

1 LSPM - Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux
2 Université Sorbonne Paris Nord
3 LSPM - Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux

Domaines: Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]; Génie des procédés; Matériaux; Micro et nanotechnologies/Microélectronique; Electronique

Audrey Valentin, Ovidiu Brinza, Samir Farhat, Jocelyn Achard, Fabien Bénédic. 3D kinetic Monte-Carlo simulations of diamond growth on (1 0 0) surfaces. Diamond and Related Materials, 2022, pp.108865. ⟨10.1016/j.diamond.2022.108865⟩. ⟨hal-03544300⟩