Comprehensive optical losses investigation of VLSI Silicon optomechanical ring resonator sensors

L. Schwab , P.E. Allain , L. Banniard , A. Fafin , M. Gély (1) , O. Lemonnier , P. Grosse (2) , M. Hermouet , S. Hentz (1) , I. Favero (3) , B. Legrand , G. Jourdan (4)

1 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 DOPT - Département d'Optronique
3 MPQ (UMR_7162) - Laboratoire Matériaux et Phénomènes Quantiques
4 IUSTI - Institut universitaire des systèmes thermiques industriels

Domaines: Optique [physics.optics]

L. Schwab, P.E. Allain, L. Banniard, A. Fafin, M. Gély, et al.. Comprehensive optical losses investigation of VLSI Silicon optomechanical ring resonator sensors. 2018 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM), Dec 2018, San Francisco, France. IEEE, pp.4.7.1-4.7.4, 2018, ⟨10.1109/IEDM.2018.8614508⟩. ⟨hal-02365398⟩