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HAL-CNRSCNRS scientific publications |
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Directions of work or proceedings
Comprehensive optical losses investigation of VLSI Silicon optomechanical ring resonator sensors
L. Schwab
P.E. Allain
L. Banniard
A. Fafin
M. Gély
1
O. Lemonnier
P. Grosse
2
M. Hermouet
S. Hentz
1
I. Favero
3
B. Legrand
G. Jourdan
4
1
CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
2
DOPT - Département d'Optronique (France)
- CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information : DRT/LETI (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France)
3
MPQ (UMR_7162) - Laboratoire Matériaux et Phénomènes Quantiques (Université Paris Diderot, Bât. Condorcet , 10 rue Alice Domon et Leonie Duquet, Case 7021, 75205 Paris cedex 13 - France)
- UPD7 - Université Paris Diderot - Paris 7 : UMR_7162 (5 rue Thomas-Mann - 75205 Paris cedex 13 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR_7162 (France)
4
IUSTI - Institut universitaire des systèmes thermiques industriels (Laboratoire IUSTI
Technopôle de Château-Gombert
5 rue Enrico Fermi
13453 Marseille cedex 13
FRANCE - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7343 (France)
- AMU - Aix Marseille Université : UMR7343 (Aix-Marseille Université Jardins du Pharo 58 Boulevard Charles Livon 13284 Marseille cedex 7 - France)
Document type :
Directions of work or proceedings
Domain :
Complete list of metadata
https://hal-cnrs.archives-ouvertes.fr/hal-02365398
Contributor : Ivan Favero <>
Submitted on : Friday, November 15, 2019 - 1:35:30 PM
Last modification on : Tuesday, November 10, 2020 - 3:09:53 AM
Contributor : Ivan Favero <>
Submitted on : Friday, November 15, 2019 - 1:35:30 PM
Last modification on : Tuesday, November 10, 2020 - 3:09:53 AM
Identifiers
- HAL Id : hal-02365398, version 1
- DOI : 10.1109/IEDM.2018.8614508
Collections
CNRS | CEA | IUSTI | DRT | UNIV-AMU | LETI | UNIV-PARIS7 | USPC | CEA-GRE | UNIV-PARIS | UP-SCIENCES | MPQ
Citation
L. Schwab, P.E. Allain, L. Banniard, A. Fafin, M. Gély, et al.. Comprehensive optical losses investigation of VLSI Silicon optomechanical ring resonator sensors. 2018 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM), Dec 2018, San Francisco, France. IEEE, pp.4.7.1-4.7.4, 2018, ⟨10.1109/IEDM.2018.8614508⟩. ⟨hal-02365398⟩
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